住友大阪水泥股份有限公司三浦幸夫获国家专利权
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龙图腾网获悉住友大阪水泥股份有限公司申请的专利陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114787983B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080084910.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法是由三浦幸夫;日高宣浩;有川纯;钉本弘训设计研发完成，并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法在说明书摘要公布了：本发明的陶瓷接合体1具备：一对陶瓷板2、3，包含导电性物质；以及导电层4及绝缘层5，介于所述一对陶瓷板2、3之间，一对陶瓷板2、3与绝缘层5的界面处的气孔率为4％以下，构成绝缘层5的绝缘性物质的平均一次粒径与构成陶瓷板2、3的绝缘性物质的平均一次粒径之比大于1。
本发明授权陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷接合体，其具备： 一对陶瓷板，包含导电性物质；以及 导电层及绝缘层，介于所述一对陶瓷板之间， 所述一对陶瓷板与所述绝缘层的界面处的气孔率为4％以下, 构成所述绝缘层的绝缘性物质的平均一次粒径与构成所述陶瓷板的绝缘性物质的平均一次粒径之比大于1。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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