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浙江驰拓科技有限公司韩谷昌获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江驰拓科技有限公司申请的专利一种MTJ结构中固定层的优化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114665007B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011535003.7,技术领域涉及:H10N50/10;该发明授权一种MTJ结构中固定层的优化方法是由韩谷昌;王明;杨晓蕾;哀立波;张恺烨;刘波设计研发完成,并于2020-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种MTJ结构中固定层的优化方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种MTJ结构中固定层的优化方法,包括以下步骤:减小固定层磁性层的厚度;调节各磁性层的磁矩,使得固定层在自由层处的偏置场符合设定值。与现有技术相比,本发明提供的MTJ结构中固定层的优化方法能够在不影响MTJ结构整体稳定性的基础上,减小固定层厚度,从而减轻MTJ刻蚀损伤。实验结果表明,本发明提供的MTJ结构中固定层的优化方法一方面,降低MTJ刻蚀损伤,同时不影响参考层稳定性;另一方面,降低整体存储单元的厚度,有利于减少刻蚀时间,也为扩展到小尺寸提供光刻Litho及硬掩模HM更多选择。

本发明授权一种MTJ结构中固定层的优化方法在权利要求书中公布了:1.一种MTJ结构中固定层的优化方法,包括以下步骤: 减小固定层磁性层的厚度;调节各磁性层的磁矩,使得固定层在自由层处的偏置场符合设定值; 所述MTJ结构包括第一钉扎层、第二钉扎层、位于第一钉扎层和第二钉扎层之间的反铁磁耦合层、过渡层、参考层、势垒层和自由层; 所述固定层包括第一钉扎层、第二钉扎层、位于第一钉扎层和第二钉扎层之间的反铁磁耦合层、过渡层和参考层; 所述减小固定层磁性层的厚度和调节各磁性层的磁矩包括: a)减小第一钉扎层PL1的厚度,并提高第一钉扎层PL1的磁矩; 步骤a)中所述减小第一钉扎层PL1的厚度的过程具体为:降低CoPtn多层中Co和Pt的厚度到每个分子层; 步骤a)中所述提高第一钉扎层PL1的磁矩的方式为采用高磁饱和磁化Ms的Co合金;所述高磁饱和磁化Ms的Co合金选自CoxFe1-x或CoFeNi,其中,x为0.1~0.4; b)减小第二钉扎层PL2的磁矩,并降低第二钉扎层PL2的厚度; 步骤b)中所述减小第二钉扎层PL2的磁矩的方式为采用低磁饱和磁化Ms的磁性层; 步骤b)中所述降低第二钉扎层PL2的厚度的过程具体为:降低CoPtn多层中Co和Pt的厚度到每个分子层; c)减小参考层RL的厚度,并降低参考层RL的磁矩; 步骤c)中所述减小参考层RL的厚度至≤1nm; 步骤c)中所述降低参考层RL的磁矩的方式为采用低磁饱和磁化Ms同时阻尼因子高的铁磁材料。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江驰拓科技有限公司,其通讯地址为:311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道励新路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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