ASML荷兰有限公司T·J·哈顿获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利收集器流动环获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080089564.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权收集器流动环是由T·J·哈顿;马悦;M·G·兰格洛斯;J·伯克;E·J·S·约翰逊设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本收集器流动环在说明书摘要公布了：提供了用于收集器流动环CFR壳体的系统、设备和方法，收集器流动环CFR壳体被配置为减轻燃料碎屑在极紫外EUV辐射系统中的积聚。示例CFR壳体可以包括多个喷头流动通道出口，该多个喷头流动通道出口被配置为在CFR壳体的等离子体面向的表面的多个部分之上输出多个第一气态流体流动。示例CFR壳体还可以包括檐槽清洗流动通道出口，该檐槽清洗流动通道出口被配置为在CFR壳体的燃料碎屑接收表面之上输出第二气态流体流动。示例CFR壳体还可包括被配置为支持护罩组装件的护罩安装结构、被配置为输送流体的冷却流动通道、以及被配置为接纳多个光学量测管的多个光学量测端口。
本发明授权收集器流动环在权利要求书中公布了：1.一种收集器流动环壳体，所述收集器流动环壳体被配置为减轻燃料碎屑在极紫外EUV辐射系统中的积聚，所述收集器流动环壳体包括： 多个喷头流动通道出口，被配置为：在所述收集器流动环壳体的等离子体面向的表面的多个部分之上输出多个第一气态流体流动； 檐槽清洗流动通道出口，被配置为：在所述收集器流动环壳体的燃料碎屑接收表面之上输出第二气态流体流动； 护罩安装结构，被配置为支持护罩组装件； 冷却流动通道，被配置为输送流体，所述流体被配置为在所述EUV辐射系统的EUV辐射生成操作期间从所述收集器流动环壳体的至少一部分移除热量；以及 多个光学量测端口，被配置为接纳多个光学量测管。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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