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创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司廖致傑获国家专利权

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龙图腾网获悉创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114609496B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011431540.7,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法是由廖致傑;程志丰;孙育民设计研发完成,并于2020-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法在说明书摘要公布了:一种测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法,测试设备包含一测试载台与一元件搬运装置。元件搬运装置包括一取放手臂、一真空吸附单元、一工作底盖与一流体传输组。真空吸附单元连接取放手臂,用以可移除地吸附至一待测物上。工作底盖的一端连接取放手臂,另端具有一凹陷槽与一弹性气密环。弹性气密环围绕凹陷槽,用以气密地覆盖于待测物的顶面,而让凹陷槽与待测物的顶面之间共同定义出一液体盛装空间。流体传输组部分地伸入液体盛装空间内,使得一液体温控装置能够注入与收回一能与待测物的顶面进行热交换的工作液体。透过以上架构,测试设备以液体直接接触受验元件,省略了层层的热阻,以提升散热效率,并排除热积存产生的问题。

本发明授权测试设备、其元件搬运装置及测试设备的测试方法在权利要求书中公布了:1.一种测试设备,其特征在于,包含: 一第一抽真空装置; 一第二抽真空装置; 一液体温控装置; 一测试载台;以及 一元件搬运装置,用以拾取并搬运一待测物至该测试载台,该元件搬运装置包括: 一取放手臂; 一真空吸附单元,连接该取放手臂与该第一抽真空装置,用以可移除地吸附至该待测物上; 一工作底盖,包含一盖体、一抽真空内管与一弹性气密环,该盖体的一端连接该取放手臂,其另端具有一凹陷槽,该弹性气密环固定地设置于该盖体的该另端,且围绕该凹陷槽,用以气密地覆盖于该待测物的一顶面,使得该凹陷槽与该待测物的该顶面之间共同定义出一液体盛装空间,该抽真空内管形成于该盖体内,且该抽真空内管的一端连接该第二抽真空装置,其另端贯穿该弹性气密环,用以可移除地吸附至该待测物的该顶面;以及 一流体传输组,位于该工作底盖上,连接该液体温控装置,被该抽真空内管围绕,且部分地伸入该液体盛装空间内, 其中该液体温控装置通过该流体传输组连续注入一工作液体至该待测物的该顶面,使得该工作液体与该待测物进行热交换,并通过该流体传输组抽回该工作液体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹科学园区力行六路10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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