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龙图腾网获悉深圳泰德半导体装备有限公司申请的专利等离子清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112117220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011037348.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权等离子清洗机是由朱霆;叶贤斌;李文强;杨建新;张凯设计研发完成，并于2020-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子清洗机在说明书摘要公布了：本发明公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括托料治具循环机构，所述托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和第一升降装置。托料治具用于放置待清洗的物料，送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于两条送料导轨上的送料件。两条送料导轨的间隔大于托料治具在两条送料导轨的排布方向上的宽度，送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动托料治具移动。回料模组设于送料模组的两条送料导轨之间且位于送料件的下方，并能够带动托料治具移动。第一升降装置设于回料模组的下方，升降装置能够带动托料治具在送料模组和回料模组之间循环切换。本发明等离子清洗机可提高清洗效率。

本发明授权等离子清洗机在权利要求书中公布了：1.一种等离子清洗机，其特征在于，包括： 料盒安装机构，用于安装存放有物料的料盒； 腔体模组，用于对所述物料进行清洗；以及， 托料治具循环机构，能够在所述料盒安装机构和所述腔体模组之间运送所述物料，所述托料治具循环机构包括： 托料治具，用于放置待清洗的物料； 送料模组，包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于所述两条送料导轨上的送料件；所述两条送料导轨的间隔大于所述托料治具在所述两条送料导轨的排布方向上的宽度，所述送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动所述托料治具移动； 回料模组，设于所述送料模组的所述两条送料导轨之间且位于所述送料件的下方，并能够带动所述托料治具移动；以及， 第一升降装置，设于所述回料模组的下方，所述第一升降装置能够带动所述托料治具在所述送料模组和所述回料模组之间循环切换； 所述等离子清洗机还包括推料机构，所述推料机构用于将所述料盒内待清洗的物料推出，以及将清洗完成的物料推回所述料盒，所述推料机构包括： 推料模组，包括推料导轨和推料驱动件； 调整模组，包括调整导轨和调整驱动件，所述调整导轨滑动安装于所述推料导轨上并与所述推料导轨呈十字交叉设置，所述调整导轨可被所述推料驱动件驱动而滑动；以及， 推料件，滑动安装于所述调整导轨上，并可被所述调整驱动件驱动而滑动； 所述等离子清洗机还包括导料机构，所述导料机构设于所述料盒安装机构和所述托料治具循环机构之间，并用于将所述料盒内的物料导至所述托料治具上；所述导料机构包括： 导料安装座； 调宽驱动件；以及， 导料模组，安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件，每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件，两个所述传送结构件共同支撑及传送待传送的物料； 两个所述导料组件中至少一者可被所述调宽驱动件驱动并向另一者运动，以调节所述两个导料组件之间的间距。

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