东京毅力科创株式会社田村一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112216647B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010636793.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法是由田村一设计研发完成，并于2020-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法。将基板的温度分布控制为在分隔壁的内侧和外侧急剧变化。基板载置台包括：基部，其具有载置基板的载置面；环状的支承构件，其设于基部，沿着基板的外周侧支承基板；环状的分隔壁，其设于载置面，在载置于载置面的基板的径向上将载置面分隔为外侧区域和内侧区域；多个突起，其设于外侧区域和内侧区域处的载置面，以在分隔壁的上端面与基板间空开空隙的方式支承基板；外侧流路，其以与外侧区域连通的方式设于基部，供向基板与载置面间的空间供给的传热气体流动；内侧流路，其以与内侧区域连通的方式设于基部，供传热气体流动；环状的扩散部，其设于基部，使传热气体沿着分隔壁的周向扩散。
本发明授权基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板载置台，其中， 该基板载置台包括： 基部，其具有载置基板的载置面； 环状的支承构件，其设于所述基部，沿着所述基板的外周侧支承所述基板； 环状的分隔壁，其设于所述载置面上，在载置于所述载置面的所述基板的径向上将所述载置面分隔为外侧区域和内侧区域； 多个突起，其设于所述外侧区域和所述内侧区域处的所述载置面上，以在所述分隔壁的上端面与所述基板之间空开空隙的方式支承所述基板； 外侧流路，其以与所述外侧区域连通的方式设于所述基部，供向所述基板与所述载置面之间的空间供给的传热气体流动； 内侧流路，其以与所述内侧区域连通的方式设于所述基部，供所述传热气体流动；以及 环状的扩散部，其设于所述基部，使所述传热气体沿着所述分隔壁的周向扩散。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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