弘塑科技股份有限公司黄立佐获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利批次式基板浸泡洗边设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113555295B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010332083.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权批次式基板浸泡洗边设备是由黄立佐;张修凯;黄富源设计研发完成，并于2020-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本批次式基板浸泡洗边设备在说明书摘要公布了：一种批次式基板浸泡洗边设备，包括一槽体、一升降机构、一旋转机构、以及一洗边构件。所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及用于容纳基板载具及所述基板载具中的基板。所述升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具；所述旋转机构设置在所述升降座上，并且包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，所述旋转轴杆的表面设有复数个凹槽。所述洗边构件包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛及或设置在所述凹槽内表面的粗糙部，所述刷毛丛及或粗糙部用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。
本发明授权批次式基板浸泡洗边设备在权利要求书中公布了：1.一种批次式基板浸泡洗边设备，包括： 一槽体，所述槽体包括一容槽，用于盛装溶液及容纳基板载具及所述基板载具中的基板； 一升降机构，设置在所述槽体上，包括一升降座，所述升降座用于承载所述基板载具； 一旋转机构，设置在所述升降座上，所述旋转机构包括至少一旋转轴杆，用于与所述基板接触并带动所述基板旋转，在所述旋转轴杆的表面，沿着所述旋转轴杆的轴向设有复数个向所述旋转轴杆的中心轴方向内缩的凹槽，所述复数个凹槽用于容纳所述基板的边缘；以及 一洗边构件，包括设置在所述凹槽外两侧的刷毛丛，所述刷毛丛用于在所述旋转轴杆带动所述基板旋转时，摩擦所述基板的边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人弘塑科技股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹市香山区中华路六段89号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号