朗姆研究公司雅各布·利·希斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利利用边缘环升降的动态鞘控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113491003B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980079348.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权利用边缘环升降的动态鞘控制是由雅各布·利·希斯特;理查德·M·布兰克;柯蒂斯·W·贝雷;迈克尔·J·亚尼基设计研发完成，并于2019-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用边缘环升降的动态鞘控制在说明书摘要公布了：基座组件包含用于支撑衬底的基座。中央轴在操作期间将基座定位于一定高度。环沿着基座的周缘而放置。环调整器次组件包含设置在中央轴的中间区段周围的调整器凸缘。次组件包含连接至调整器凸缘且从调整器凸缘延伸至设置于基座下方的调整器板的套管。次组件包含连接至调整器板且从调整器板竖直延伸的环调整器销。环调整器销中的每一者在邻近基座直径且在其外部的位置定位于调整器板上。环调整器销接触环的边缘下表面。调整器凸缘耦合于至少三个调整器致动器，以用于限定环相对于基座的顶部表面的升高和倾斜。
本发明授权利用边缘环升降的动态鞘控制在权利要求书中公布了：1.一种基座组件，其包含： 用于支撑衬底的基座，所述基座由中央轴支撑，所述中央轴在操作期间将所述基座定位在一定高度； 环，其配置成沿着所述基座的周缘而放置；以及 环调整器次组件，其包含： 调整器板； 调整器凸缘，其设置在所述中央轴的中间区段周围； 套管，其连接至所述调整器凸缘，并且从所述调整器凸缘延伸至设置在所述基座下方的所述调整器板并且围绕所述中央轴； 多个环调整器销，其在邻近所述基座的直径的对应位置连接至所述调整器板，且所述多个环调整器销从所述调整器板竖直向上定向并位于所述基座的所述直径的外侧，其中所述多个环调整器销配置成接触所述环的边缘下表面； 其中所述调整器凸缘耦合于由一个或多个控制器控制的至少三个调整器致动器，所述控制器被配置为升高或降低所述调整器凸缘的相应部分，并且所述调整器凸缘、所述至少三个调整器致动器和所述一个或多个控制器组合起来被布置为使所述调整器板倾斜并相应地限定所述环相对于所述基座的顶部表面的升高或倾斜，以控制所述环的内缘和所述基座之间的电容。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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