香港科技大学(广州)徐巍获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种花篮架、药液槽组件及半导体清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284948U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521538779.2，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种花篮架、药液槽组件及半导体清洗装置是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种花篮架、药液槽组件及半导体清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种花篮架、药液槽组件及半导体清洗装置，涉及半导体加工技术领域，其中花篮架包括花篮架本体以及第一锁件；花篮架本体中设有两个对称设置的滑槽；两个滑槽之间形成供待清洗的工件活动插入的置放腔；两个滑槽的一端延伸出花篮架，且之间形成供工件插入的插入口；至少一个滑槽的另一端设有止挡结构，能够与工件接触相抵；第一锁件活动安装于插入口周围，且能够在解锁位置与锁定位置之间切换运动；在第一锁件处于锁定位置时，其上的部分结构能够伸入插入口以止挡工件从插入口脱离。该花篮架能够使得待清洗的工件的取放更加便利，提高清洗效率和用户体验。
本实用新型一种花篮架、药液槽组件及半导体清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种花篮架，其特征在于，包括花篮架本体（1）以及第一锁件（2）； 所述花篮架本体（1）中设有两个对称设置的滑槽（111）； 两个所述滑槽（111）之间形成供待清洗的工件活动插入的置放腔（113）； 两个所述滑槽（111）的一端延伸出所述花篮架，且之间形成供所述工件插入的插入口（112）； 至少一个所述滑槽（111）的另一端设有止挡结构（114），能够与所述工件接触相抵； 所述第一锁件（2）活动安装于所述插入口（112）周围，且能够在解锁位置与锁定位置之间切换运动； 在所述第一锁件（2）处于所述锁定位置时，其上的部分结构能够伸入所述插入口（112）以止挡所述工件从所述插入口（112）脱离。
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