华芯程(杭州)科技有限公司熊万能获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利一种刻蚀偏差校正方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120428510B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510948415.X，技术领域涉及：G03F1/80；该发明授权一种刻蚀偏差校正方法、装置、设备及存储介质是由熊万能;杨晓方;张雄设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀偏差校正方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种刻蚀偏差校正方法、装置、设备及存储介质，通过接收待处理版图及刻蚀工艺最小尺寸；将所述刻蚀工艺最小尺寸增加，得到凸角最小尺寸；将所述刻蚀工艺最小尺寸增加，得到凹角最小尺寸；对所述待处理版图中的图形的边缘进行分段处理，得到分段版图；所述分段版图中的图形为多个待调整边缘段围成的图形；其中，组成所述分段版图中的图形的凹角的待调整边缘段的长度不小于所述凹角最小尺寸，组成所述分段版图中的图形的凸角的待调整边缘段的长度不小于所述凸角最小尺寸；对所述分段版图进行刻蚀偏差补偿，得到补偿修正版图。本发明中，避免角位的待调整边缘段的尺寸小于刻蚀工艺最小尺寸，提补偿的准确率。
本发明授权一种刻蚀偏差校正方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀偏差校正方法，其特征在于，包括： 接收待处理版图及刻蚀工艺最小尺寸； 将所述刻蚀工艺最小尺寸增加，得到凸角最小尺寸；将所述刻蚀工艺最小尺寸增加，得到凹角最小尺寸； 对所述待处理版图中的图形的边缘进行分段处理，得到分段版图；所述分段版图中的图形为多个待调整边缘段围成的图形；其中，组成所述分段版图中的图形的凹角的待调整边缘段的长度不小于所述凹角最小尺寸，组成所述分段版图中的图形的凸角的待调整边缘段的长度不小于所述凸角最小尺寸； 对所述分段版图进行刻蚀偏差补偿，得到补偿修正版图。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311113 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号