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龙图腾网获悉无锡兴华衡辉科技有限公司申请的专利一种接触式光刻机清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120421273B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510929122.7，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种接触式光刻机清洗设备是由刘正旭设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种接触式光刻机清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种接触式光刻机清洗设备，涉及半导体芯片技术领域，包括清洗架、超声清洗组件、传动组件和回收组件，所述清洗架顶部的前表面设置PLC控制器。本发明使用时，拧动收紧螺栓，带动限位伸缩杆转动并收缩，进一步带动转杆、转动环和两个弧形收紧板转动，对两个收紧块产生相对的拉力，通过两个收紧块带动两个收紧杆相对移动进一步带动两个调节框相对移动，通过橡胶钉将光刻板夹持固定住，然后将夹紧架外表面的插杆插入插孔内部。在调节组件的作用下，设置可以调节宽度距离的调节框，可以对不同厚度的光刻板进行柔性夹持固定，提高其牢固性和稳定性。

本发明授权一种接触式光刻机清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种接触式光刻机清洗设备，包括清洗架、超声清洗组件、传动组件和回收组件，其特征在于：所述清洗架顶部的前表面设置PLC控制器，所述清洗架的顶部设置高压冲洗组件，所述超声清洗组件的内部设置调节组件； 所述调节组件包括四个夹紧架和八个调节框，八个所述调节框的一侧外表面均固定连接有八个橡胶钉，八个所述调节框的两侧外表面均固定连接有收紧杆，所述夹紧架上下叠加放置两个光刻板，所述调节框调节橡胶钉之间的距离宽度，与夹紧架中叠放的光刻板接触，所述收紧杆用于带动调节框移动； 所述超声清洗组件包括外壳和清洗池，所述清洗池的底部设置换能器； 所述清洗池的外表面固定安装在外壳的内部，所述清洗池外表面的底面处固定连接有废液管，所述废液管的一端固定贯穿至外壳的外表面，所述废液管的外表面设置阀门，所述外壳和清洗池的顶部设置两个插合盖，所述外壳的底部固定安装在清洗架的顶部； 所述高压冲洗组件包括三个高压泵和两个存液桶，三个所述高压泵的输出端均通过法兰盘连接有出液管，三个所述出液管的一端均设置电磁阀，三个所述电磁阀的输出端均设置连接管，三个所述连接管的一端固定连接有T型管； 所述高压冲洗组件还包括两个移动管，两个所述移动管的一端固定连接有分流管，两个所述移动管的外表面均固定连接有多个喷头，所述分流管外表面的中心处固定连接有固定管，所述固定管的一端固定连接有软管，所述软管的一端与T型管的一端固定连接； 其中两个所述高压泵的输入端均通过法兰盘连接有抽液管，另外一个所述高压泵的输入端通过法兰盘连接有抽水管，两个所述移动管和分流管的外表面均活动嵌设在清洗池的内部，两个所述抽液管的一端分别延伸至两个存液桶的内部，三个所述高压泵的底部均通过螺栓安装在清洗架顶部的边缘处，所述T型管的两端均固定安装有支撑块，两个所述支撑块的底部均固定安装在清洗架的顶部； 所述传动组件包括螺杆传动机构和U型板，所述螺杆传动机构的外表面设置移动板，所述移动板一侧外表面的顶部处固定安装有固定杆，所述固定杆的一端固定安装有移动杆，所述移动杆的底部固定安装在U型板的顶部，所述U型板的底部固定安装在两个移动管外表面的顶部处，所述U型板的外表面活动嵌设在清洗池的内部，所述螺杆传动机构的底部固定安装在清洗架的顶部靠近外壳处。

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