深圳新声半导体有限公司黄磊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳新声半导体有限公司申请的专利一种TF-SAW谐振器及其制备方法、滤波器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120415368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510926310.4,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权一种TF-SAW谐振器及其制备方法、滤波器是由黄磊;邹洁;冯端设计研发完成,并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TF-SAW谐振器及其制备方法、滤波器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种TF‑SAW谐振器及其制备方法、滤波器,涉及半导体技术领域。叉指电极包括活塞结构、子汇流条以及金属凸块,活塞结构位于声学部分的两端,可以理解的是电极指条上声学部分的末端区域设置有活塞结构,通过改变该末端区域的声速来实现更大的声速差,从而使得横向模式向不同方向反射以避免其形成谐振造成能量耗散;在横向模式的传播路径上,再依次设置子汇流条和金属凸块,通过造成声速差来消除杂波干扰,以最大程度的抑制杂模干扰,提高Q值,提升通带内的插损平坦度等,进而提升TF‑SAW谐振器的性能。
本发明授权一种TF-SAW谐振器及其制备方法、滤波器在权利要求书中公布了:1.一种TF-SAW谐振器,其特征在于,所述TF-SAW谐振器包括: 衬底; 位于所述衬底一侧的压电薄膜层; 位于所述压电薄膜层背离所述衬底一侧的叉指电极;所述叉指电极包括汇流条、子汇流条和电极指条,所述电极指条包括声学部分和电学部分,所述电学部分的两端分别连接所述声学部分和所述汇流条;所述汇流条包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条,所述子汇流条包括在所述第一方向上相对设置的第一子汇流条和第二子汇流条;所述电极指条包括位于所述第一汇流条上的第一电极指条和位于所述第二汇流条上的第二电极指条;所述第一子汇流条位于所述第一汇流条与所述第二电极指条之间,且与所述第一电极指条的电学部分连接;所述第二子汇流条位于所述第二汇流条与所述第一电极指条之间,且与所述第二电极指条的电学部分连接;所述汇流条和所述子汇流条沿第二方向延伸,所述电极指条的长度延伸方向与所述第一方向平行,所述第一方向和所述第二方向平行于所述衬底所在平面,且所述第一方向和所述第二方向相交; 位于所述声学部分两端的活塞结构; 金属凸块,所述金属凸块包括位于所述汇流条面向所述子汇流条一侧表面上的第一金属凸块,和或,包括位于所述子汇流条面向所述汇流条一侧表面上的第二金属凸块。
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