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龙图腾网获悉无锡格瑞斯精密机械有限公司申请的专利半导体零件三坐标表面精度测量仪及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120403516B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510898020.3，技术领域涉及：G01B21/00；该发明授权半导体零件三坐标表面精度测量仪及其测量方法是由顾伟东;秦春设计研发完成，并于2025-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体零件三坐标表面精度测量仪及其测量方法在说明书摘要公布了：本申请涉及三坐标测量设备技术领域，尤其是涉及半导体零件三坐标表面精度测量仪及其测量方法，测量仪包括机台，机台上安装有检测台、横移模组、测量模组和波纹管，机台和检测台上安装有固定波纹管的安装盘，波纹管上安装有插板，安装盘上开设有插槽；安装盘上安装有固定杆，固定杆上转动安装有压板，安装盘上滑动安装有升降杆，升降杆与压板抵接，升降杆上安装有固定盘，升降杆上套接有第二弹簧，升降杆远离压板的一端安装有限位条；固定盘上安装有连接杆，安装盘上安装有支撑板，支撑板上转动安装有转杆，连接杆与转杆滑动连接，转杆上连接有对压板进行固定的挡板。本申请具有提升半导体零件三坐标表面精度测量仪在操作过程中的便捷性的效果。

本发明授权半导体零件三坐标表面精度测量仪及其测量方法在权利要求书中公布了：1.半导体零件三坐标表面精度测量仪，其特征在于：包括机台（1），所述机台（1）上安装有检测台（2），所述机台（1）上安装有控制所述检测台（2）移动的横移模组（3），所述检测台（2）上安装有对所述横移模组（3）保护的波纹管（22），所述机台（1）和所述检测台（2）上安装有固定所述波纹管（22）的安装盘（23），所述波纹管（22）上安装有插板（221），所述安装盘（23）上开设有容纳所述插板（221）的插槽（231），所述安装盘（23）上安装有固定杆（241），所述固定杆（241）上转动安装有压板（242），所述安装盘（23）上滑动安装有升降杆（251），所述升降杆（251）靠近所述压板（242）的一端与所述压板（242）抵接，所述升降杆（251）上安装有固定盘（252），所述升降杆（251）上套接有第二弹簧（253），所述升降杆（251）远离所述压板（242）的一端安装有限位条（254）；所述固定盘（252）上安装有连接杆（263），所述安装盘（23）上安装有支撑板（261），所述支撑板（261）上转动安装有转杆（262），所述连接杆（263）与所述转杆（262）滑动连接，所述转杆（262）上连接有对所述压板（242）进行固定的挡板（267），所述安装盘（23）上滑动安装有调节杆（264），所述调节杆（264）靠近所述转杆（262）的一侧的侧壁上开设有啮合齿，所述转杆（262）靠近所述调节杆（264）的一端安装有齿盘（265），所述齿盘（265）与所述调节杆（264）啮合连接，所述调节杆（264）上安装有载板（266），所述载板（266）上开设有收合槽（2661），所述挡板（267）通过所述收合槽（2661）滑动安装在所述载板（266）上，所述安装盘（23）上安装有第二导向杆（243），所述第二导向杆（243）上滑动安装有升降块（244），所述第二导向杆（243）上套接有第一弹簧（245），所述第一弹簧（245）一端与所述升降块（244）连接，另一端与所述安装盘（23）连接，所述升降块（244）靠近所述压板（242）的一端设置为外凸的圆弧面，所述压板（242）上安装有凸块（246），所述凸块（246）与所述升降块（244）的圆弧面抵接，所述升降块（244）远离所述压板（242）的一端安装有压条（247），所述机台（1）上安装有进行测量的测量模组（4）。

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