成都航天凯特机电科技有限公司张云辉获国家专利权
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龙图腾网获悉成都航天凯特机电科技有限公司申请的专利一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120376444B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510864212.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统是由张云辉;蒋礼平;陈鹏;谭宗安;廖红波;唐君杨;林辉;李小龙设计研发完成，并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统在说明书摘要公布了：本发明提供的一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统，本发明涉及伺服驱动转台技术领域，该方法包括基于待检测晶圆的图片确定每一个分割芯片图片和每一个分割芯片信息；基于每一个分割芯片信息确定多个第一风险芯片；基于多个第一风险芯片信息使用聚类算法进行聚类得到K个簇和每个簇的代表芯片；得到距离每个簇的代表芯片的X射线检查信息；基于多个第一风险芯片信息、每个簇的代表芯片的X射线检查信息确定多个风险簇和每一个风险簇中的多个第二风险芯片；基于每一个风险簇中的多个第二风险芯片图片确定最终检测路径；基于所述最终检测路径控制超小型高精度伺服驱动转台进行电气性能检测，该方法能够快速准确确定出最优的晶圆检测路径。
本发明授权一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种超小型高精度伺服驱动转台的控制方法，其特征在于，包括： 获取待检测晶圆的图片； 基于所述待检测晶圆的图片确定每一个分割芯片图片和每一个分割芯片信息； 基于所述每一个分割芯片信息确定多个第一风险芯片； 基于多个第一风险芯片信息使用聚类算法进行聚类得到K个簇和每个簇的代表芯片； 控制超小型高精度伺服驱动转台移动到每个簇的代表芯片处并进行X射线检查得到每个簇的代表芯片的X射线检查信息； 基于所述多个第一风险芯片信息、所述每个簇的代表芯片的X射线检查信息确定多个风险簇和每一个风险簇中的多个第二风险芯片； 基于每一个风险簇中的多个第二风险芯片图片确定最终检测路径； 基于所述最终检测路径控制超小型高精度伺服驱动转台进行电气性能检测。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都航天凯特机电科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市郫都区现代工业港新经济产业园西源大道一段1207号国盾融合创新中心一期B5-1、B5-2栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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