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苏州敏芯微电子技术股份有限公司李诺伦获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请的专利一种三轴加速度计及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120314605B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510808998.6,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权一种三轴加速度计及电子设备是由李诺伦;庄瑞芬;李哲设计研发完成,并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种三轴加速度计及电子设备在说明书摘要公布了:本申请提出一种三轴加速度计及电子设备。该三轴加速度计包括:衬底层、第一检测模块、第二检测模块、第三检测模块;衬底层包括沿第三方向相互层叠的第一衬底和第二衬底;第三检测模块包括第三质量块、至少一个扭转梁、至少一个质量连接梁、第三电极层和至少一个锚点;第三质量块包括第一质量模块和第二质量模块;扭转梁沿第一方向布设,并与至少一个锚点连接;质量连接梁沿第二方向布设,包括第一部分和第二部分,第一部分的长度等于第二部分的长度,质量连接梁的中点与至少一个扭转梁连接;第三电极层设置在质量连接梁与第二衬底之间,质量连接梁至第三电极层的距离小于质量连接梁至第一衬底的距离。通过上述结构,可避免扭转梁与第一衬底相撞。

本发明授权一种三轴加速度计及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种三轴加速度计,其特征在于,具有相互相交且垂直的第一方向X、第二方向Y、第三方向Z,包括: 衬底层4,包括沿所述第三方向Z相互层叠的第一衬底41和第二衬底42,所述第一衬底41和所述第二衬底42之间围设形成第一空间43; 第一检测模块1,用于检测所述第一方向X上的加速度; 第二检测模块2,用于检测所述第二方向Y上的加速度; 第三检测模块3,用于检测第三方向Z上的加速度;所述第一检测模块1、所述第二检测模块2和所述第三检测模块3均布设在所述第一空间43内; 所述第三检测模块3包括: 第三质量块31,包括第一质量模块311和第二质量模块312; 至少一个锚点; 至少一个扭转梁32,沿所述第一方向X布设,并与所述至少一个锚点连接; 至少一个质量连接梁33,沿所述第二方向Y布设,包括相连接的第一部分333和第二部分334,所述第一部分333的长度等于所述第二部分334的长度,所述第一部分333与所述第一质量模块311连接,所述第二部分334与所述第二质量模块312连接,所述质量连接梁33的中点335与所述至少一个扭转梁32连接; 第三电极层34,设置在所述质量连接梁33与所述第二衬底42之间,所述质量连接梁33至所述第三电极层34的距离小于所述质量连接梁33至所述第一衬底41的距离,所述第三电极层34与所述第一质量模块311形成电容结构,所述第三电极层34与所述第二质量模块312形成电容结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州敏芯微电子技术股份有限公司,其通讯地址为:215123 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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