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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119291986B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411747795.2，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法和系统是由沈逸江;何文靖;刘家乐设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法和系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法和系统，涉及计算光刻学中的反演光刻和光学临近校正技术领域，方法包括获取初始掩模图像；采用CTM算法对初始掩模图像进行优化处理，得到包含SRAFs的灰度值掩模；区域划分得到区域划分后的灰度值掩模；采用自适应阈值正则化算法，对区域划分后的灰度值掩模中的各个区域进行动态阈值调整优化，得到包含SRAFs的二值化掩模；动态阈值调整优化是通过自适应调整参数a的方式，调整区域划分后的灰度值掩模中各个区域对应的阈值，确定每个区域的最佳阈值；参数a是自适应阈值正则化算法中正则化函数中的一个参数。本申请可以获得二值化掩模，满足产业制造需求，并提高掩模成像的精度。

本发明授权一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种基于自适应阈值正则化的反演光刻方法，其特征在于，所述基于自适应阈值正则化的反演光刻方法包括： 获取初始掩模图像；所述初始掩模图像为对目标掩模进行初始化后得到的掩模图像，所述目标掩模为待处理的掩模； 采用CTM算法对所述初始掩模图像进行优化处理，得到包含SRAFs的灰度值掩模； 根据所述包含SRAFs的灰度值掩模中各个区域的灰度值，对所述包含SRAFs的灰度值掩模进行区域划分，得到区域划分后的灰度值掩模； 采用自适应阈值正则化算法，对所述区域划分后的灰度值掩模中的各个区域进行动态阈值调整优化，得到包含SRAFs的二值化掩模；所述动态阈值调整优化指的是通过自适应调整参数a的方式，调整所述区域划分后的灰度值掩模中各个区域对应的阈值，从而确定每个区域的最佳阈值；所述参数a指的是所述自适应阈值正则化算法中正则化函数中的一个参数； 采用自适应阈值正则化算法，对所述区域划分后的灰度值掩模中的各个区域进行动态阈值调整优化，得到包含SRAFs的二值化掩模，具体包括： 采用所述自适应阈值正则化算法，将所述自适应阈值正则化算法的正则化函数以正则化项的形式，加入到所述CTM算法的目标函数中，以所述目标函数最小化为优化目标，对所述区域划分后的灰度值掩模进行优化，并在优化过程中，为所述区域划分后的灰度值掩模中各个区域分别设定一个初始的参数a； 采用梯度下降法，通过自适应调整各个区域对应的初始的参数a，确定各个区域对应的最佳阈值，得到包含SRAFs的二值化掩模； 所述正则化函数在掩模值为0和1时的取值达到最小，均为0，并在掩模值从0到1的区间内仅存在一个可控的最大值点，通过调整参数a调整这一最大值点。

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