苏州芯轮半导体科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种便于装卸的晶圆研磨头组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223277760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422938383.9，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种便于装卸的晶圆研磨头组件是由张磊;温鹏飞;王京平设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于装卸的晶圆研磨头组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于装卸的晶圆研磨头组件，包括淋水构件，所述淋水构件包括底座，所述底座顶部外壁设置有支撑架，支撑架一侧外壁设置有输送泵，输送泵顶部连接有储水箱，储水箱顶部连接有补充口，底座顶部外壁设置有固定架，固定架顶部依次排列设置有多组研磨架，固定架底部设置有多组调速电机，每组研磨架分别与对应的调速电机相连接，支撑架靠近固定架一侧设置有喷头，喷头一端连接于输送泵，喷头位置与研磨架相适配，支撑架一侧设置有用于调节研磨角度和位置的调节构件，所述调节构件包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆通过螺栓固定于支撑架一侧外壁，支撑架顶部设置有开槽，开槽处滑动安装有移动块。
本实用新型一种便于装卸的晶圆研磨头组件在权利要求书中公布了：1.一种便于装卸的晶圆研磨头组件，其特征在于，包括淋水构件，所述淋水构件包括底座1，所述底座1顶部外壁设置有支撑架10，支撑架10一侧外壁设置有输送泵21，输送泵21顶部连接有储水箱8，储水箱8顶部连接有补充口18，底座1顶部外壁设置有固定架5，固定架5顶部依次排列设置有多组研磨架4，固定架5底部设置有多组调速电机3，每组研磨架4分别与对应的调速电机3相连接，支撑架10靠近固定架5一侧设置有喷头7，喷头7一端连接于输送泵21，喷头7位置与研磨架4相适配，支撑架10一侧设置有用于调节研磨角度和位置的调节构件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯轮半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区吴中大道1183号30幢1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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