湖南二零八先进科技有限公司王飞获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南二零八先进科技有限公司申请的专利一种半球谐振子质量调平装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223283668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422855504.3,技术领域涉及:G01C19/5691;该实用新型一种半球谐振子质量调平装置是由王飞;卢广锋;王凡;刘春华设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半球谐振子质量调平装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了半球谐振子质量调平装置,包括真空腔体、安装结构、质量调平机构和驱动机构;安装结构包括转台和多个可周向旋转安装于转台外缘的谐振子安装机构,多个谐振子安装机构沿转台周向间隔均布,质量调平机构包括束径掩膜盖和离子源,离子源固定于真空腔体内,其离子束出口的中心位置与半球谐振子的唇沿平面在同一水平面上,束径掩膜盖活动安装于真空腔体中,其侧壁上开设有过束孔,束径掩膜盖可相对真空腔体上下移动至掩膜状态,束径掩膜盖位于掩膜状态时,每个谐振子安装机构及其上的半球谐振子均罩设其内,其过束孔与离子源离子束出口相对设置。本实用新型能够实现半球谐振子的批量化调平处理,提高半球谐振子质量调平效率。
本实用新型一种半球谐振子质量调平装置在权利要求书中公布了:1.一种半球谐振子质量调平装置,其特征在于,包括真空腔体1、安装结构2、质量调平机构3和驱动机构4; 所述安装结构2包括转台21和多个谐振子安装机构22,转台21水平可周向旋转安装于真空腔体1中,谐振子安装机构22水平可周向旋转安装于转台21的外缘,多个谐振子安装机构22沿转台21的周向间隔均布,驱动机构4安装于真空腔体1上,且与转台21和多个谐振子安装机构22传动相连,用于驱动转台21水平周向旋转,以及驱动谐振子安装机构22水平周向旋转; 质量调平机构3包括束径掩膜盖31和离子源32,离子源32固定于真空腔体1内,其离子束出口的中心位置与半球谐振子的唇沿平面在同一水平面上,束径掩膜盖31活动安装于真空腔体1中,其侧壁上开设有过束孔311,束径掩膜盖31可相对真空腔体1上下移动至掩膜状态,所述束径掩膜盖31位于掩膜状态时,多个谐振子安装机构22,以及每个谐振子安装机构22上的半球谐振子均罩设其内,其过束孔311与离子源32离子束出口相对设置。
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