苏州芯轮半导体科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆研磨液控制装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223277777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422833292.9，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种晶圆研磨液控制装置是由张磊;温鹏飞;王京平设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨液控制装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆研磨液控制装置，本实用新型涉及研磨液控制技术领域，该晶圆研磨液控制装置包括主体，所述主体内部设置有存储箱，所述存储箱一侧设置有第一电磁阀，所述第一电磁阀一侧设置有第二增压泵，所述第二增压泵一侧设置有流量检测装置，所述流量检测装置通过管道连接有喷头，所述主体内部侧壁设置有数个支撑杆，所述支撑杆上部设置有过滤网，所述过滤网下部设置有收集箱，所述收集箱底部通过设置底座对收集箱进行支撑，所述收集箱底部设置有凹槽。通过设置存储箱，用于对研磨液进行存储，通过设置流量检测装置，用于检测研磨液喷出流量，通过设置增压泵，用于控制研磨液喷出量。
本实用新型一种晶圆研磨液控制装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨液控制装置，其特征在于：包括主体1，所述主体1内部设置有存储箱3，所述存储箱3一侧设置有第一电磁阀19，所述第一电磁阀19一侧设置有第二增压泵25，所述第二增压泵25一侧设置有流量检测装置24，所述流量检测装置24通过管道连接有喷头7，所述主体1内部侧壁设置有数个支撑杆21，所述支撑杆21上部设置有过滤网10，所述过滤网10下部设置有收集箱22，所述收集箱22底部通过设置底座23对收集箱22进行支撑，所述收集箱22底部设置有凹槽29，所述凹槽29一侧设置有第二电磁阀28，所述第二电磁阀28一侧设置有第一增压泵20，所述第一增压泵20一侧通过管道连接在冷却箱15侧面下部，所述冷却箱15另一侧上部设置有第三增压泵27，所述第三增压泵27通过管道连接有存储箱3。
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