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龙图腾网获悉杭州光研科技有限公司申请的专利一种晶圆轮廓测量仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223283614U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422837715.4，技术领域涉及：G01B11/24；该实用新型一种晶圆轮廓测量仪是由陈海龙;郭晓忠;翁杰;叶连慧设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆轮廓测量仪在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆轮廓测量仪，涉及晶圆生产设备领域。该晶圆轮廓测量仪包括机体，机体内设置有工作台；该晶圆轮廓测量仪还包括设置于机体上用于装卸晶圆的装卸模块，以及设置于工作台上的承载模块、寻边模块、调整模块、原点检测模块及测量模块；搬运模块用于在装卸模块与承载模块之间转运晶圆；承载模块用于带动晶圆运动；寻边模块用于获取晶圆的边缘图像信息；调整模块用于调整晶圆的位置，以使晶圆的中心与承载模块的旋转中心对齐；承载模块还用于带动晶圆运动至晶圆的原点与原点检测模块的检测点对齐；测量模块用于对晶圆进行轮廓测量。本实用新型提供的晶圆轮廓测量仪的测量效率更高、测量精度更好。

本实用新型一种晶圆轮廓测量仪在权利要求书中公布了：1.一种晶圆轮廓测量仪，其特征在于，包括机体110、装卸模块120、搬运模块130、承载模块140、寻边模块150、调整模块160、原点检测模块170及测量模块180，所述装卸模块120设置于所述机体110上，用于装卸晶圆200；所述机体110内设置有工作台111，所述承载模块140、所述寻边模块150、所述调整模块160、所述原点检测模块170及所述测量模块180均设置于所述工作台111上； 所述搬运模块130用于将所述装卸模块120处的待测量晶圆200转运至所述承载模块140；所述承载模块140用于带动所述晶圆200运动；所述寻边模块150用于在所述承载模块140带动所述晶圆200旋转的过程中获取所述晶圆200的边缘图像信息；所述调整模块160用于根据所述边缘图像信息调整所述晶圆200在所述承载模块140上的位置，以使所述晶圆200的中心与所述承载模块140的旋转中心对齐；所述承载模块140还用于在所述调整模块160完成对所述晶圆200的调整后，带动所述晶圆200运动至所述晶圆200的原点与所述原点检测模块170的检测点对齐；所述测量模块180用于在所述晶圆200的原点与所述原点检测模块170的检测点对齐的情况下，对所述晶圆200进行轮廓测量；所述搬运模块130还用于将完成轮廓测量的所述晶圆200由所述承载模块140转运至所述装卸模块120。

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