上海新微技术研发中心有限公司贾岩获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种晶圆限位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284962U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422719449.5，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆限位装置是由贾岩;尹勇设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆限位装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆限位装置，包括多个晶圆限位柱模块、多个定位模块、多个基座以及平台，基座固定安装于平台上，晶圆限位柱模块通过定位模块安装于基座上；晶圆限位柱模块包括晶圆限位柱和限位底座，晶圆限位柱固定于限位底座上方；限位底座左侧下方设置有定位组件，所述定位模块上设有连接孔，定位组件插入连接孔对晶圆限位柱模块定位安装。晶圆限位柱模块通过定位组件进行定位安装，更换时仅需松开螺丝拔出限位柱，再插入新的限位柱拧紧螺丝，不需重新进行定位，能够有效节省更换的时间与人力成本，提高工作效率。
本实用新型一种晶圆限位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆限位装置，其特征在于，包括多个晶圆限位柱模块1、多个定位模块2、多个基座3以及平台5，所述基座3固定安装于所述平台5上；所述晶圆限位柱模块1通过所述定位模块2安装于所述基座3上；所述晶圆限位柱模块1包括晶圆限位柱11和限位底座12，所述晶圆限位柱11固定于所述限位底座12上方；所述限位底座12左侧下方设置有定位组件121，所述定位模块2上设有连接孔23，所述定位组件121插入所述连接孔23对所述晶圆限位柱模块1定位安装。
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