苏州迈为科技股份有限公司解传佳获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利一种载板装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223280925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422708171.1,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种载板装置是由解传佳;於刘民;宋文化;刘浏;唐雪扬;王伟韬设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载板装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,公开了一种载板装置,载板装置包括托盘和支撑框架,托盘放置于支撑框架上,托盘具有用于放置基片的放置区,且所述托盘接地设置,托盘包括突出结构,突出结构设在托盘正面和背面上,且环绕所述放置区设置,突出结构至少包括一个端部,端部具有弧形结构。该载板装置的结构简单,且能够将带电粒子快速导出,从而实现降低沉积TCO膜层过程中损坏钝化层几率,有利于提升产品工艺品质。
本实用新型一种载板装置在权利要求书中公布了:1.一种载板装置,所述载板装置包括托盘100和支撑框架,所述托盘100放置于所述支撑框架上,所述托盘100具有用于放置基片10的放置区110,且所述托盘100接地设置;其特征在于, 所述托盘包括突出结构,所述突出结构设在所述托盘100正面和背面上,且环绕所述放置区110设置,所述突出结构至少包括一个端部212,所述端部212具有弧形结构。
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