江苏微导纳米科技股份有限公司钱一萍获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种气量补偿装置和气动系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223282905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422704681.1，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型一种气量补偿装置和气动系统是由钱一萍;智顺华设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气量补偿装置和气动系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种气量补偿装置和气动系统。气量补偿装置包括储气单元以及补气管路；储气单元与补气管路连通，补气管路与气源连通；储气单元配置有至少一个气体分配口，气体分配口用于与气动元器件连通。气量补偿装置能够提高到达气动元器件的气流的流量和压力的稳定性，并能够满足气动元器件对压缩气体的需求，从而提高气动元器件的响应稳定性和响应速度。
本实用新型一种气量补偿装置和气动系统在权利要求书中公布了：1.一种气量补偿装置，其特征在于： 所述气量补偿装置包括储气单元以及补气管路； 所述储气单元与所述补气管路连通，所述补气管路与气源连通；所述储气单元配置有至少一个气体分配口，所述气体分配口用于与气动元器件连通。
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