清华大学王雪获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利一种基于硅基的新型腔体及红外气体传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223284112U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422705984.5,技术领域涉及:G01N21/3504;该实用新型一种基于硅基的新型腔体及红外气体传感器是由王雪;任红军设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于硅基的新型腔体及红外气体传感器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种基于硅基的新型腔体及红外气体传感器,基于硅基的新型腔体包括:蚀刻于硅基片上的所述V形光通道,V形光通道由两个分槽一端联通形成,且其中之一分槽远离联通端设有光源离轴抛物面,另一分槽远离联通端设有探测器离轴抛物面,两个分槽的联通处蚀刻反射面,V形光通道与透气孔联通。它通过V形光通道减少了光路的反射次数,有效简化了加工步骤,同时降低了光线多次反射后的衰减。
本实用新型一种基于硅基的新型腔体及红外气体传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于硅基的新型腔体,其特征在于,包括:蚀刻于硅基片上的V形光通道,V形光通道由两个分槽一端联通形成,且其中之一分槽远离联通端设有光源离轴抛物面9,另一分槽远离联通端设有探测器离轴抛物面10,两个分槽的联通处蚀刻反射面11,V形光通道与透气孔4联通。
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