东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司米涛获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利传片校正装置及传片腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422706608.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型传片校正装置及传片腔室是由米涛;张之光设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本传片校正装置及传片腔室在说明书摘要公布了：本申请公开了一种传片校正装置及传片腔室，该传片校正装置包括检测组件和校正组件；所述检测组件安装于传片腔室的腔壁上，并与上位机相连，用于发射检测光束并基于检测光束的遮挡信息确定晶圆的位置；所述校正组件安装于所述传片腔室的腔壁上，并与所述上位机相连，用于带动晶圆转动以校正晶圆的位置。传片校正装置增加过程调节，在传片过程中校正晶圆的角位移偏差，无需对外部机械手、真空机械手、晶圆运动台进行改动，改动成本小。传片校正装置包括检测组件和校正组件，检测组件可以在传片腔室内检测晶圆的实际位置，校正组件可以在上位机的控制下校正晶圆的位置，从而可以至少部分消除外部机械手所带来的误差，提高传片精度，提升设备指标。
本实用新型传片校正装置及传片腔室在权利要求书中公布了：1.一种传片校正装置，其特征在于，包括： 检测组件，安装于传片腔室的腔壁上，并与上位机相连，用于发射检测光束并基于检测光束的遮挡信息确定晶圆的位置； 校正组件，安装于所述传片腔室的腔壁上，并与所述上位机相连，用于带动晶圆转动以校正晶圆的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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