山东华擎导电新材料科技有限公司曾庆熙获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华擎导电新材料科技有限公司申请的专利一种真空磁控溅射薄膜镀制设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223280919U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422656940.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种真空磁控溅射薄膜镀制设备是由曾庆熙;李强;郑立冬设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空磁控溅射薄膜镀制设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，涉及薄膜镀制技术领域。本实用新型包括箱体，所述箱体的正面转动连接有箱门，所述箱体的右侧开设有抽气孔，所述箱体的右侧固定连接有抽气管，所述抽气管与抽气孔呈连通设置，所述箱体的顶部固定连接有电机。本实用新型通过设置齿盘，具体是随着转轴转动，带动齿盘转动，随着齿盘转动，与齿盘啮合连接的齿轮发生转动，齿轮通过连接轴带动框架转动，从而带动物品在箱体的内部围绕转轴转动的同时自转，行星运动能够确保被镀膜物品在镀膜过程中受到来自各个方向的均匀轰击，而被镀膜物品的行星运动则能使其表面各个部分都能均匀地接受到溅射粒子的轰击，进而提升物品镀膜的成品质量。
本实用新型一种真空磁控溅射薄膜镀制设备在权利要求书中公布了：1.一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，包括箱体1，所述箱体1的正面转动连接有箱门101，所述箱体1的右侧开设有抽气孔，所述箱体1的右侧固定连接有抽气管102，所述抽气管102与抽气孔呈连通设置，所述箱体1的顶部固定连接有电机103，所述电机103的输出端固定连接有转轴104，所述转轴104与箱体1的内壁转动连接，其特征在于； 所述转轴104的外表面固定连接有齿盘201，所述齿盘201的内壁啮合连接有四个齿轮202，四个所述齿轮202的底部均固定连接有连接轴203，所述齿盘201的下方设置有支撑架105，所述支撑架105的内壁与转轴104的外表面固定连接，所述支撑架105远离转轴104的一侧与连接轴203的外表面转动连接。
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