东莞锐信仪器有限公司邢雨晗获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞锐信仪器有限公司申请的专利MIM电容结构、射频无源器件以及基板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223284991U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422669038.X,技术领域涉及:H01L23/64;该实用新型MIM电容结构、射频无源器件以及基板是由邢雨晗设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本MIM电容结构、射频无源器件以及基板在说明书摘要公布了:一种MIM电容结构、射频无源器件以及基板,涉及无源器件技术领域,MIM电容结构包括:第一电极、叠层介质层以及第二电极;叠层介质层覆盖第二电极的顶面以及侧面,且沿平行于第二电极的底面的方向延伸预设长度;第一电极至少覆盖叠层介质层的顶面的部分或全部;叠层介质层至少包括第一介质层、第二介质层以及第三介质层;第一介质层覆盖第二电极的顶面以及侧面;第二介质层的折射率大于第一介质层与第三介质层的折射率,第二介质层具有负应力,第三介质层具有正应力。本申请可以克服单一介质层在底角的缝隙问题。
本实用新型MIM电容结构、射频无源器件以及基板在权利要求书中公布了:1.一种MIM电容结构,其特征在于,包括:第一电极1、叠层介质层3以及第二电极2; 所述叠层介质层3覆盖所述第二电极2的顶面以及侧面,且沿平行于所述第二电极2的底面的方向延伸预设长度; 所述第一电极1至少覆盖所述叠层介质层3的顶面的部分或全部; 所述叠层介质层3至少包括依次层叠的第一介质层31、第二介质层32以及第三介质层33;所述第一介质层31覆盖所述第二电极2的顶面以及侧面; 所述第二介质层32的折射率大于所述第一介质层31与所述第三介质层33的折射率,所述第二介质层32具有负应力,所述第三介质层33具有正应力; 所述第二介质层32靠近所述第二电极2侧面下端位置处的厚度小于上端位置处的厚度,并且,所述第三介质层33靠近所述第二电极2侧面下端位置处的厚度小于其上端位置处的厚度。
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