深圳市百利合新材料发展有限公司高梁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市百利合新材料发展有限公司申请的专利一种光刻胶涂布装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422644340.X，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光刻胶涂布装置是由高梁;罗启祥设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶涂布装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻胶涂布技术领域，且公开了一种光刻胶涂布装置，包括基板，所述基板的顶部固定安装有用于进行承载的环座，且所述环座的内部固定安装有用于进行吸附固定的吸附座，且所述吸附座的底部与真空泵固定连接在一起，所述基板的顶部还固定安装有用于进行安装的拱架，所述拱架的中部固定安装有电控气缸，且所述电控气缸的端部固定安装有收集罩，所述收集罩整体呈现为环形，且其底部固定安装有驱动电机，还包括涂布组件，本装置通过上述结构之间的相互配合，在便于对晶圆表面进行光刻胶涂布的同时，提升光刻胶涂布的均匀性，并便于对甩胶时溅落至内壁上的光刻胶进行清理回收，降低涂布的成本，更加便于光刻胶涂布时的使用，更加实用。
本实用新型一种光刻胶涂布装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶涂布装置，包括基板1，所述基板1的顶部固定安装有用于进行承载的环座2，且所述环座2的内部固定安装有用于进行吸附固定的吸附座3，且所述吸附座3的底部与真空泵固定连接在一起，所述真空泵固定安装在基板1上，且所述基板1的顶部还固定安装有用于进行安装的拱架4，所述拱架4的中部固定安装有用于进行控制推送的电控气缸6，且所述电控气缸6的端部固定安装有用于进行防护的收集罩7，所述收集罩7整体呈现为环形，且其底部固定安装有用于驱动的驱动电机8，其特征在于：还包括： 涂布组件，所述涂布组件设置在驱动电机8的端部，所述涂布组件用于对晶圆的表面进行光刻胶的涂布。
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