浙江蔚福科技股份有限公司吴庆岩获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江蔚福科技股份有限公司申请的专利半导体加工冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223284939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422626485.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体加工冷却装置是由吴庆岩;章晨阳;陈攀设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体加工冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体加工冷却装置，包括具有介质流通孔的第一腔体，以及与第一腔体间隔分布的第二腔体，第一腔体与第二腔体通过腔体通道管相互连通，半导体加工冷却装置还包括介质管，介质管的一端贯穿第一腔体并且和第一腔体固定，介质管的另一端沿着腔体通道管的轴向分布并呈悬空状伸入于第二腔体中，在腔体通道管靠近第二腔体的一端内部设有套于介质管上的支撑环，以使得腔体通道管的轴心线和介质管的轴心线重合。本申请优点：在腔体通道管内设置支撑环，使得介质管在腔体内获得两端稳定的支撑，更加便捷且高效的将介质管安装到位，作业时保证介质管不会因介质的流动，产生管体偏移现象，提高整个装置的实用稳定性和使用寿命。
本实用新型半导体加工冷却装置在权利要求书中公布了：1.半导体加工冷却装置，包括具有介质流通孔（10）的第一腔体（1），以及与所述第一腔体（1）间隔分布的第二腔体（2），所述第一腔体（1）与所述第二腔体（2）通过腔体通道管（3）相互连通，其特征在于，所述半导体加工冷却装置还包括介质管（4），所述介质管（4）的一端贯穿所述第一腔体（1）并且和所述第一腔体（1）固定，所述介质管（4）的另一端沿着所述腔体通道管（3）的轴向分布并呈悬空状伸入于所述第二腔体（2）中，在所述腔体通道管（3）靠近所述第二腔体（2）的一端内部设有套于所述介质管（4）上的支撑环（32），以使得所述腔体通道管（3）的轴心线和所述介质管（4）的轴心线重合。
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