湘能华磊光电股份有限公司林传强获国家专利权
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龙图腾网获悉湘能华磊光电股份有限公司申请的专利一种石墨盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223280974U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422613528.8,技术领域涉及:C30B29/20;该实用新型一种石墨盘是由林传强;黄胜蓝;季辉设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体材料生长技术领域,具体涉及一种石墨盘,包括盘体,该盘体上设有由中心向周围直径逐渐增大的多个槽圈,每个该槽圈包括串接的多个凹槽,该凹槽的边缘间隔设有多个台阶,该凹槽的中部设有凹型区,该凹型区与台阶之间设有平面区,该凹型区的高度低于该平面区的高度,该台阶的高度高于该平面区的高度。本实用新型可提高外延片片内的加热温度均匀性,进而提高外延片片内的波长均匀性,并且外延片片与片之间的波长均匀性也得到提高,解决了现有技术中的石墨盘结构易造成外延片内波长差异较大,导致外延片良率的下降的技术问题。
本实用新型一种石墨盘在权利要求书中公布了:1.一种石墨盘,其特征在于,包括盘体1,所述盘体1上设有由中心向周围直径逐渐增大的多个槽圈,每个所述槽圈包括串接的多个凹槽2,所述凹槽2的边缘设有平面区4,所述平面区4上间隔设有多个台阶3,所述凹槽2的中部设有凹型区5,所述凹型区5的高度低于所述平面区4的高度,所述台阶3的高度高于所述平面区4的高度。
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