上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司王悦获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种光阻喷头装配工具和光刻系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223277897U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422581293.9，技术领域涉及：B25B27/00；该实用新型一种光阻喷头装配工具和光刻系统是由王悦;王大鹏;孙国庆设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光阻喷头装配工具和光刻系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体集成电路制造装备领域，公开了一种光阻喷头装配工具和光刻系统，包括：用于容纳光阻喷头的工具主体，包括至少两个套设并连接的装配单元体；摩擦结构，位于相邻两个装配单元体之间；连接部件，与底部的装配单元体的内壁连接；具有刻度的旋转部件，与连接部件的一端连接；连接部件与底部的装配单元体通过旋转部件转动在工具主体的轴向方向上发生相对运动；底部的装配单元体与相连接的装配单元体重叠面积通过旋转部件转动调节。通过本申请中的装配工具对光阻喷头进行安装，可以达到控制固定扭力旋转安装光阻喷头，避免光阻喷头安装不足时造成的光阻滴漏和产品缺陷，以及安装过量时导致的光阻喷头损坏等问题。
本实用新型一种光阻喷头装配工具和光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种光阻喷头装配工具，其特征在于，包括： 用于容纳光阻喷头的工具主体，包括至少两个套设并连接的装配单元体； 摩擦结构，位于相邻两个所述装配单元体之间； 连接部件，与底部的所述装配单元体的内壁连接； 具有刻度的旋转部件，与所述连接部件的一端连接； 所述连接部件与底部的所述装配单元体通过所述旋转部件转动在所述工具主体的轴向方向上发生相对运动；底部的所述装配单元体与相连接的所述装配单元体重叠面积通过所述旋转部件转动调节。
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