TCL环鑫半导体(天津)有限公司常旭获国家专利权
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龙图腾网获悉TCL环鑫半导体(天津)有限公司申请的专利一种片篮晃动支架及湿制程设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223284967U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422557365.6,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种片篮晃动支架及湿制程设备是由常旭;魏文博;范玉丰;黄志焕;徐长坡;张超;梁续通设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片篮晃动支架及湿制程设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种片篮晃动支架及湿制程设备,涉及半导体清洗技术领域,片篮晃动支架包括:主架体;承托结构,设置于主架体上,承托结构的顶面设置至少四个片篮容置位;主架体与承托结构均设置为至少包括内层和包覆于内层外侧的外层,内层包括金属材质,外层包括聚四氟乙烯。此片篮晃动支架能够兼容至少两种不同尺寸的片篮,以提高片篮晃动支架的利用率,且能够有效地解决老化开焊等问题,且能够彻底解决片篮晃动支架老化变形等问题,有效隔绝金属离子提高产品的可靠性。湿制程设备包括湿制程设备主体和上述的片篮晃动支架,片篮晃动支架安装于设备主体,能够兼容至少两种不同尺寸的片篮,清洗效率高。
本实用新型一种片篮晃动支架及湿制程设备在权利要求书中公布了:1.一种片篮晃动支架,其特征在于,包括: 主架体; 承托结构,设置于所述主架体上,所述承托结构的顶面设置至少四个片篮容置位; 所述主架体与所述承托结构均设置为至少包括内层和包覆于所述内层外侧的外层,所述内层包括金属材质,所述外层包括聚四氟乙烯。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人TCL环鑫半导体(天津)有限公司,其通讯地址为:300384 天津市滨海新区华苑产业区(环外)海泰东路12号A座二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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