江苏微导纳米科技股份有限公司李挺获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利拆装模组和沉积系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223284928U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422482528.9,技术领域涉及:H01J37/32;该实用新型拆装模组和沉积系统是由李挺;严大;任自强;张胜设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本拆装模组和沉积系统在说明书摘要公布了:本申请公开了拆装模组和沉积系统。拆装模组包括桨杆、第一拆装组件和第二拆装组件。第一拆装组件设置于桨杆的其中一端,用于支撑电极馈入组件的第一端。第二拆装组件设置于桨杆的另一端,用于支撑电极馈入组件的第二端。通过上述方式,本申请能够方便直接地将电极馈入组件进行拆装。
本实用新型拆装模组和沉积系统在权利要求书中公布了:1.一种拆装模组,应用于沉积系统,其特征在于,包括: 桨杆, 第一拆装组件,设置于所述桨杆的其中一端,用于支撑所述沉积系统电极馈入组件的其中一端; 第二拆装组件,设置于所述桨杆的另一端,用于支撑所述电极馈入组件的另一端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司,其通讯地址为:214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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