中国科学院上海微系统与信息技术研究所王潇悦获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115571853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211305026.8，技术领域涉及：B81C99/00；该发明授权一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法是由王潇悦;吴亚明;凌必赟;陈栋;徐巧设计研发完成，并于2022-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设置蚀刻测量图形结构，测量图形成等差数列排布；在不影响晶圆整体工艺的情况下，基于测量图形的边缘连接情况获得钻蚀的数值，测量精度高。
本发明授权一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法在权利要求书中公布了：1.一种钻蚀量的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括以下步骤： S1：在晶圆的设计图形区域外放置蚀刻测量图形结构；所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列； S2：通过刻蚀将设计图形及所述蚀刻测量图形结构加工到所述晶圆上，并获取加工完成后的晶圆的刻蚀图形； S3：基于所述刻蚀图形中的测量图形之间的边缘位移，进而得到钻蚀量；通过观察所述刻蚀图形中测量图形边缘相接的两个测量图形的序号，通过所述两个测量图形的序号得到所述钻蚀量，所述钻蚀量为所述两个测量图形移动的大小。
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