信越化学工业株式会社郡大佑获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115963695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211211942.5,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物是由郡大佑;小林直贵;山本靖之设计研发完成,并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物在说明书摘要公布了:本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物。本发明的目的是提供一种化合物,能形成不仅耐热性、形成于基板的图案的填埋、平坦化特性优良,且对于基板的成膜性、密接性良好的有机下层膜,并提供含有该化合物的有机膜形成材料。本发明的解决手段是一种有机膜形成材料,其特征在于含有下述通式1表示的化合物及有机溶剂。该通式1中,R1是下述式2的任一者,R2表示硝基、卤素原子、羟基、烷基氧基、炔基氧基、烯基氧基、直链状、分支状、或环状的烷基、三氟甲基、三氟甲基氧基;n表示0或1,m表示1~3的整数,p表示0或1,l表示0~2的整数;W是碳数2~40的2价有机基团。
本发明授权有机膜形成材料、图案形成方法以及化合物在权利要求书中公布了:1.一种有机膜形成材料,其特征在于,含有下述通式1表示的化合物及有机溶剂: 该通式1中,R1是下述式2的任一者,R2表示硝基、卤素原子、羟基、碳数1~4的烷基氧基、碳数2~4的炔基氧基、碳数2~4的烯基氧基、碳数1~6的直链状、分支状、或环状的烷基、三氟甲基、三氟甲基氧基;n表示0或1,m表示1~3的整数,p表示0或1,l表示0~2的整数;W是以下结构中的任意者:
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