东京毅力科创株式会社渡边真二郎获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利对准方法和检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115480078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210567378.4，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权对准方法和检查装置是由渡边真二郎设计研发完成，并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准方法和检查装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够将电极焊盘和探针以高精度进行对位的对准方法和检查装置。本发明的一个方式的对准方法为包括与多个芯片对应地设置的多个探针组的探针卡的对准方法，其特征在于：包括第一模式，对所述多个芯片中的各个芯片，基于与所述芯片对应地设置的所述探针组中包含的2个以上的探针的位置信息来计算该探针组的倾斜度和重心，基于计算出的所述多个探针组的倾斜度和重心来计算所述探针卡的倾斜度和重心。
本发明授权对准方法和检查装置在权利要求书中公布了：1.一种对准方法，其为包括与多个芯片对应地设置的多个探针组的探针卡的对准方法，其特征在于： 包括下述的第一模式： 基于各探针组中包含的2个以上的探针的设计上的位置信息，来分别计算各探针组的设计上的倾斜度和各探针组的设计上的重心，基于计算出的所述各探针组的设计上的倾斜度和所述各探针组的设计上的重心，来计算探针卡的设计上的倾斜度和探针卡的设计上的重心， 基于各探针组中包含的2个以上的探针的测量上的位置信息，来分别计算各探针组的测量上的倾斜度和各探针组的测量上的重心，基于计算出的所述各探针组的测量上的倾斜度和所述各探针组的测量上的重心，来计算探针卡的测量上的倾斜度和探针卡的测量上的重心， 分别计算所述探针卡的测量上的倾斜度相对于所述探针卡的设计上的倾斜度的偏移量即倾斜度偏移量、和所述探针卡的测量上的重心相对于所述探针卡的设计上的重心的偏移量即重心偏移量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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