应用材料公司S·德汉达帕尼获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利根据基于机器学习的基板图像处理进行膜厚度估计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115104001B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180014115.4，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权根据基于机器学习的基板图像处理进行膜厚度估计是由S·德汉达帕尼;A·阿拉赫霍利普罗姆拉尼;D·J·本韦格努;钱隽;K·L·什里斯塔设计研发完成，并于2021-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本根据基于机器学习的基板图像处理进行膜厚度估计在说明书摘要公布了：通过在多个位置获得校准基板的顶层的地表实况厚度测量结果来训练神经网络以用于基板厚度测量系统，每一位置为在基板上制造的管芯的定义位置。获取校准基板的多个彩色图像，每一彩色图像对应于在基板上制造的管芯的区域。训练神经网络以将来自直列式基板成像器的管芯区域的彩色图像转化为管芯区域中顶层的厚度测量结果。使用训练数据执行训练，训练数据包括多个彩色图像及地表实况厚度测量结果，每一相应的彩色图像与和该相应彩色图像相关联的管芯区域的地表实况厚度测量结果配对。
本发明授权根据基于机器学习的基板图像处理进行膜厚度估计在权利要求书中公布了：1.一种非瞬态计算机可读介质，其编码有计算机程序产品，所述计算机程序产品包括指令以使一个或多个处理器执行以下步骤： 在多个位置获得校准基板的顶层的地表实况厚度测量结果，每一位置为在所述校准基板上制造的管芯的定义位置； 获取所述校准基板的多个彩色图像，每一彩色图像对应于在所述校准基板上制造的管芯的区域；及 训练神经网络，将来自直列式基板成像器的管芯区域的彩色图像转换为所述管芯区域中的所述顶层的厚度测量结果，其中训练所述神经网络的所述指令包括使用训练数据的指令，所述训练数据包括所述多个彩色图像及地表实况厚度测量结果，每一相应彩色图像与和所述相应彩色图像相关联的所述管芯区域的地表实况厚度测量结果配对。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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