ASM IP私人控股有限公司中野竜获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利包括调节电路的反应器系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113621944B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110493981.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权包括调节电路的反应器系统是由中野竜;庄司文孝设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括调节电路的反应器系统在说明书摘要公布了：一种反应器系统的基座组件的，可以包括由基座外边缘限定的基座本体，基座本体包括基座外部部分和基座内部部分，其中基座外部部分邻近于基座外边缘，并且基座内部部分被至少部分地封闭在基座外部部分内；第一调节电路，包括边缘电极和耦接到边缘电极的第一谐振电路，其中边缘电极耦接到基座本体；第二调节电路，包括中央电极和耦接到中央电极的第二谐振电路，其中中央电极耦接到基座本体；其中边缘电极设置为比中央电极更邻近于基座外边缘。
本发明授权包括调节电路的反应器系统在权利要求书中公布了：1.一种反应器系统的基座组件，包括： 基座本体，由基座外边缘限定，所述基座本体包括基座外部部分和基座内部部分，其中所述基座外部部分邻近于基座外边缘，并且所述基座内部部分被至少部分地封闭在所述基座外部部分内； 第一调节电路，包括边缘电极和耦接到所述边缘电极的第一谐振电路，其中所述边缘电极耦接到所述基座本体；以及 第二调节电路，包括中央电极和耦接到所述中央电极的第二谐振电路，其中所述中央电极耦接到所述基座本体； 其中所述边缘电极设置为比所述中央电极更邻近于所述基座外边缘； 其中所述第一调节电路独立于所述第二调节电路。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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