信越化学工业株式会社坂爪崇宽获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利成膜装置及成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115428131B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180027330.8，技术领域涉及：H01L21/365；该发明授权成膜装置及成膜方法是由坂爪崇宽设计研发完成，并于2021-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置及成膜方法在说明书摘要公布了：本发明是一种成膜装置，其至少具备：雾化部，其雾化原料溶液而产生雾；连接于所述雾化部、并输送含有所述雾的载气的配管；输送向含有所述雾的载气中混合、并以1种以上的气体为主成分的添加用流体的至少一根以上的配管；与成膜部连接、并输送将含有所述雾的载气和所述添加用流体混合后的混合雾流体的配管；连接部件，其连接输送含有所述雾的载气的配管、输送所述添加用流体的配管、以及输送所述混合雾流体的配管；以及成膜部，其对所述雾进行热处理而在基体上进行成膜，通过所述连接部件连接的、输送所述添加用流体的配管与输送所述混合雾流体的配管所成的角是120度以上。由此，提供一种能够应用成膜速度优异的雾化CVD法的成膜装置。
本发明授权成膜装置及成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，至少具备： 雾化部，其雾化原料溶液而产生雾； 连接于所述雾化部、并输送含有所述雾的载气的配管； 输送向含有所述雾的载气中混合、并以1种以上的气体为主成分的添加用流体的至少一根以上的配管； 与成膜部连接、并输送将含有所述雾的载气和所述添加用流体混合后的混合雾流体的配管； 连接部件，其连接输送含有所述雾的载气的配管、输送所述添加用流体的配管、以及输送所述混合雾流体的配管；以及 成膜部，其对所述雾进行热处理而在基体上进行成膜， 通过所述连接部件连接的、输送所述添加用流体的配管与输送所述混合雾流体的配管所成的角是120度以上， 使所述添加用流体的线速度为含有所述雾的载气的线速度的1倍~100倍，所述载气的流量为8Lmin以上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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