东京毅力科创株式会社茂木卓获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112420552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010805541.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基片处理系统是由茂木卓;熊谷隆;小田岛章;吉村启佑设计研发完成，并于2020-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基片处理系统。多个处理腔室并排地配置，并且分别能够实施基片处理。多个电源系统单元分别配置在多个处理腔室的下部，能够对各处理腔室单独地供电。本发明能够抑制设置面积。
本发明授权基片处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基片处理系统，其特征在于： 所述基片处理系统设置在地面，包括： 基片输送区块； 支承台，其包含与所述地面隔开间隔的顶板； 配置在所述顶板上，且沿所述基片输送区块的侧面与所述基片输送区块连接的多个基片处理区块；和 配置在所述顶板之下，且与所述多个基片处理区块分别对应的多个电源系统单元，各电源系统单元构成为能够对对应的基片处理区块供给电力， 所述顶板包含配置在所述多个基片处理区块之下的第一部分和从所述第一部分向外侧延伸的第二部分， 所述电源系统单元具有电力控制装置和发电机， 所述电力控制装置配置在所述顶板的所述第一部分之下， 所述发电机配置在所述顶板的所述第二部分之下， 所述基片处理系统还包括： 导轨，其配置在所述顶板的所述第二部分的上方，沿所述多个基片处理区块的排列方向延伸；和 悬吊机构，其构成为能够将所述发电机中的任一者悬吊于所述导轨，沿所述导轨输送被悬吊的发电机。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号