香港科技大学(广州)吴朝阳获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种解码设备底座与解码设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223296777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521561267.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种解码设备底座与解码设备是由吴朝阳;李季;陈雪娥;熊威;徐巍设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种解码设备底座与解码设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种解码设备底座与解码设备；其中，解码设备底座包括：物料台；所述物料台上设置有多个不同直径的第一样品槽；所述物料台上设置有解码区域；所述解码区域与各个所述第一样品槽均部分或全部重合。本方案中，晶圆能够根据尺寸放置于不同的第一样品槽内。由于编码一般位于晶圆的边缘位置，并且各个第一样品槽均与解码区域相交，因此在放置晶圆时只需相应地将编码放置在解码区域内即可实现将编码与镜头组对应。本方案提供的解码设备底座能够供不同尺寸的晶圆放置，并且通过第一样品槽为工作人员提供了放置区域的限制，从而能够减少对设备数量和镜头组数量的要求，降低设备成本以及提升工作效率。
本实用新型一种解码设备底座与解码设备在权利要求书中公布了：1.一种解码设备底座，其特征在于，包括：物料台（10）； 所述物料台（10）上设置有多个不同直径的第一样品槽（11）； 所述物料台（10）上设置有解码区域（12）； 所述解码区域（12）与各个所述第一样品槽（11）均部分或全部重合。
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