山东理工大学孙海滨获国家专利权
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龙图腾网获悉山东理工大学申请的专利一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120463200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510954965.2,技术领域涉及:C01B32/977;该发明授权一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法是由孙海滨;郭学;李文杰;张伟;胡强强;冯玉润设计研发完成,并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于先进陶瓷材料技术领域,具体公开了一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法,该方法包括以下步骤:步骤S1、配料;步骤S2、声共振混合;步骤S3、高温热解与煅烧;步骤S4、酸洗纯化与洗涤;步骤S5、真空震荡干燥。本发明采用上述一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法,该制备方法解决了传统工艺均匀性差、效率低、能耗高的问题;通过该方法可得到纯度≥99.9999%的碳化硅粉体,制备出的碳化硅粉体纯度高、分散性好,适用于半导体、新能源等高端领域。
本发明授权一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种6N级高纯碳化硅粉体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1、配料;将高纯硅粉和高纯碳粉按照摩尔比为1:1.02~1:1.05进行称取;按高纯硅粉和高纯碳粉总质量的45~60%称取高纯液态聚碳硅烷; 步骤S2、声共振混合;将称取的高纯硅粉、高纯碳粉和高纯液态聚碳硅烷加入石英容器,通入高纯氩气,在室温条件启动声共振装置进行声共振混合,得到均匀浆料; 步骤S3、高温热解与煅烧;将均匀浆料倒入石墨坩埚,在炉体反应室中通入高纯氩气,进行第一次升温,保温2h;继续进行第二次升温,得到碳化硅粉体; 步骤S4、酸洗纯化与洗涤;将氢氟酸与硝酸按照体积比为1:1制备混合液,通过混合液对碳化硅粉体进行超声洗涤;采用去离子水对酸洗后的碳化硅粉体进行超声洗涤,经抽滤得到滤料; 步骤S5、真空震荡干燥;将滤料加入真空震荡干燥机,抽真空至-0.095~-0.1MPa,在10~20Hz的震荡频率,先升温至50~60℃预热1h,然后升温至80~100℃保温2~3h,经自然降温即得到6N级高纯碳化硅粉体。
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