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龙图腾网获悉江苏众晶半导体有限公司申请的专利一种晶圆载台及晶圆加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453220B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510939914.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆载台及晶圆加工设备是由马正方;朱国峰设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆载台及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆载台及晶圆加工设备，涉及半导体加工技术领域，一种晶圆载台，包括台体，所述台体上开设有用于晶圆定位放置的放置槽；还包括：抽压夹紧组件，设置于台体上用于对放置在放置槽内部的晶圆抽压夹紧。本发明通过抽压夹紧组件与挤压夹紧组件的相互配合，实现对晶圆底部的抽压夹紧及晶圆外部的挤压夹紧，保证晶圆在晶圆载台上夹持固定的效果，且在夹持的过程中，通过联动组件，合理的控制抽压夹紧组件与晶圆底部边缘的距离，使得抽压夹紧组件在抽压夹紧的过程中不与晶圆内陷槽位置产生间隙，避免抽压夹持过程中出现吸附力波动及外部灰尘与其他杂质的混入，保证晶圆载台对晶圆的夹持效果。

本发明授权一种晶圆载台及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台，包括： 台体（101），所述台体（101）上开设有用于晶圆定位放置的放置槽（102）； 其特征在于，还包括： 抽压夹紧组件，设置于台体（101）上用于对放置在放置槽（102）内部的晶圆抽压夹紧； 挤压夹紧组件，设置于台体（101）上用于对放置槽（102）内部放置后晶圆挤压夹紧，所述抽压夹紧组件与挤压夹紧组件设置有多组，且各组抽压夹紧组件与挤压夹紧组件一一对应，各组所述抽压夹紧组件与挤压夹紧组件在台体（101）上呈环形阵列的状态设置； 联动组件，设置于抽压夹紧组件与挤压夹紧组件之间，用于夹持过程中根据晶圆底部状态控制抽压夹紧位置； 以及，开设于台体（101）上的安装腔（5），所述安装腔（5）与放置槽（102）之间开设有多组呈环形阵列状态设置的L型槽（6），所述抽压夹紧组件及挤压夹紧组件处于L型槽（6）的内部，所述台体（101）上设置有用于对抽压夹紧组件抽压的抽压组件； 所述抽压夹紧组件包括设置于安装腔（5）内部的抽压管（201），所述抽压管（201）的上方设置有用于与晶圆底部相抵的气管（202），所述气管（202）从L型槽（6）上穿过处于放置槽（102）的内部； 所述挤压夹紧组件包括设置于安装腔（5）内部的安装板（301），所述安装腔（5）的内部设置有用于对安装板（301）伸缩连接的伸缩组件，所述安装板（301）的一侧固定有挤压板（302），所述挤压板（302）的前端从L型槽（6）上穿过并处于放置槽（102）的内部，所述挤压板（302）的上端上开设有用于与晶圆底部四周相抵传动的斜面（303）。

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