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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120422140B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510933724.X，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置是由叶林征;李文龙;吴佳龙;祝锡晶;李腾伟;张万奇设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体是一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置，其包括转台，转台的台板上表面自下而上依次层叠固定有托盘、下振板、上振板、磁性片、抛光垫，上振板的下表面中间固定有压电陶瓷片，抛光垫的上表面偏心放置有保持套，保持套的外侧面上端螺纹连接有螺纹套，螺纹套的外顶面固定有减震弹簧，减震弹簧的上端固定有支撑片，第二电滑环的内环固定于支撑片的上表面，第二电滑环的内环内固定装配有传动轴，传动轴的下端固定有夹持套，夹持套内固定装配有超声波振子。其解决了现有半导体化学机械抛光技术抛光速度较慢、抛光后表面质量较差、抛光合格率较低的问题，适用于半导体化学机械抛光。

本发明授权一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种压力可调的双频超声辅助半导体化学机械抛光装置，其特征在于：包括转台；转台的台板（1）向上，且转台的台板（1）上表面自下而上依次层叠固定有托盘（2）、下振板（3）、上振板（4）、磁性片（5）、抛光垫（6）；下振板（3）的上表面、上振板（4）的下表面均为中间低四周高的环形阶梯面，且上振板（4）的下表面中间固定有压电陶瓷片（7）；转台的外壳（8）上表面固定有定位夹持架；抛光垫（6）的上表面偏心放置有呈筒形结构的保持套（9），且保持套（9）可转动地夹设于定位夹持架内；保持套（9）的外侧面上端螺纹连接有呈杯形结构且杯口向下的螺纹套（10）；螺纹套（10）的外顶面固定有减震弹簧（11）；减震弹簧（11）的上端固定有支撑片（12）； 还包括支撑架、第一电滑环、第二电滑环、第一导线（13）、第二导线（14）、第三导线（15）、第四导线（16）、高频超声波发生器（17）、低频超声波发生器（18）；第一电滑环的外环（19）固定于支撑架上，且第一电滑环的外环（19）通过第一导线（13）与高频超声波发生器（17）电连接；第一电滑环的内环（20）通过第二导线（14）与压电陶瓷片（7）电连接，且第二导线（14）同时贯穿抛光垫（6）、磁性片（5）、上振板（4）；第二电滑环的外环（21）通过第三导线（15）与低频超声波发生器（18）电连接；第二电滑环的内环（22）固定于支撑片（12）的上表面；第二电滑环的内环（22）内固定装配有传动轴（23），且传动轴（23）的下端依次穿过支撑片（12）、减震弹簧（11）、螺纹套（10）伸入保持套（9）内；传动轴（23）的下端固定有呈杯形结构且杯口向下的夹持套（24）；夹持套（24）内固定装配有振动面向下的超声波振子（25）；超声波振子（25）的振动面固定有载物盘（26）；第二电滑环的内环（22）通过第四导线（16）与超声波振子（25）电连接，且第四导线（16）贯穿保持套（9）。

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