买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海凯锐恩半导体科技有限公司申请的专利一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120432416B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510927501.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法是由金勇;全日龙;郭桂维;潘文武设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法，属于半导体制造装备智能控制技术领域。本方法包括：通过响应面法构建基于双层真空热压成型设备执行参数的TTV数学模型；利用遗传算法根据目标TTV输出初步执行参数；基于所述数学模型结合神经网络利用所述初步执行参数获得预测TTV；基于所述预测TTV进行遗传算法的迭代，输出最优执行参数；所述双层真空热压成型设备执行所述最优执行参数完成晶圆涂敷胶的热压成型。本方法融合响应面法、遗传算法和神经网络，在物理约束条件下实现热压成型参数的高效优化，解决传统热压成型工艺中参数优化困难的技术难题。

本发明授权一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于RSM和神经网络的晶圆涂敷胶热压成型的控制方法，其特征在于，包括： 通过响应面法构建基于双层真空热压成型设备执行参数的TTV数学模型；所述数学模型： 其中，表示截距项，表示目标TTV，表示随机误差； 表示单个自变量对目标TTV的线性主效应，是对应自变量的系数； 表示单个自变量对目标TTV的非线性影响，是项系数； 表示交互项，反应两个自变量之间的协同或拮抗作用对目标TTV的影响，和是互项系数； 利用遗传算法根据目标TTV输出初步执行参数；所述遗传算法的适应度函数： 其中，为预测TTV，根据超出设备极限或不符生产规范的程度计算，为预设惩罚系数，表示目标TTV，表示精准度奖励项，表示约束惩罚项； 基于所述数学模型结合神经网络利用所述初步执行参数获得预测TTV； 基于所述预测TTV进行所述遗传算法的迭代，输出最优执行参数； 所述双层真空热压成型设备执行所述最优执行参数完成晶圆涂敷胶的热压成型。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海凯锐恩半导体科技有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。