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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种半导体晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120394457B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510914898.1，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种半导体晶圆清洗装置是由华斌;赵天翔;丁宏程设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆片清洗技术领域，尤其是一种半导体晶圆清洗装置，包括超声波清洗机，还包括：安装板，安装板设置在超声波清洗机的上方，多个弧形条，多个弧形条沿周向设置在安装板的一侧，弧形条上连接有聚拢组件，弧形条的凹面侧均设置有多个限位辊，喷气组件，喷气组件设置在弧形条的凹面侧，喷气组件用于对限位辊和半导体晶圆的侧边接触位置喷气除尘；本发明通过喷气组件对限位辊和半导体晶圆的侧边接触位置进行喷气除尘，使得限位辊和半导体晶圆的侧边接触位置之间不存在污染物，防止污染物的存在造成半导体晶圆的侧边处产生划痕损伤。

本发明授权一种半导体晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆清洗装置，包括超声波清洗机（100），其特征在于，还包括： 安装板（200），安装板（200）设置在超声波清洗机（100）的上方，安装板（200）上连接有升降组件（300），升降组件（300）用于驱动安装板（200）进行垂直方向的升降移动； 多个弧形条（400），多个弧形条（400）沿周向设置在安装板（200）的一侧，弧形条（400）上连接有聚拢组件（500），弧形条（400）的凹面侧均设置有多个限位辊（600），限位辊（600）上连接有旋转组件（700），当聚拢组件（500）驱动弧形条（400）向安装板（200）的中心处聚拢后，限位辊（600）与半导体晶圆的侧边接触限位，旋转组件（700）用于驱动多个限位辊（600）同向转动； 喷气组件（800），喷气组件（800）设置在弧形条（400）的凹面侧，喷气组件（800）用于对限位辊（600）和半导体晶圆的侧边接触位置喷气除尘； 导液组件（900），导液组件（900）设置在安装板（200）上，当半导体晶圆进行单向转动时，导液组件（900）用于对半导体晶圆侧边处进行反向的清洗液引流； 旋转组件（700）包括： 多个单通套管（710），多个单通套管（710）分别转动连接在对应的限位辊（600）内部，单通套管（710）均固定连接在对应的弧形条（400）上； 限位辊（600）的一侧均设置有刮板（610），刮板（610）的顶部滑动连接有连接条（611），连接条（611）固定连接在对应的弧形条（400）上，刮板（610）的一侧固定连接有圆形杆（612），安装板（200）上固定连接有多个引导框架（613），引导框架（613）上开设有引导槽（614），圆形杆（612）的一端位于对应的引导槽（614）内部，引导槽（614）包括垂直段（6141）和倾斜段（6142），当圆形杆（612）位于垂直段（6141）内部时，刮板（610）的刮料端位于限位辊（600）的一侧； 导液组件（900）包括： 第二弧形管（910），第二弧形管（910）固定连接在安装板（200）上，第二弧形管（910）上固定连通有多个出水管（911）； 液泵（920），液泵（920）固定安装在安装板（200）上，液泵（920）的出水端固定连通在第二弧形管（910）的一端上，当多个弧形条（400）处于聚拢状态时，出水管（911）的一端与对应的单通套管（710）一端接触连通，单通套管（710）上开设有第一出水槽（711），限位辊（600）上沿周向开设有多个第二出水槽（620）。

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