深圳市道格特科技有限公司刘志广获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120254358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510758346.6，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡是由刘志广;张华;刘久源设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡，包括：圆盘，所述圆盘表面设置有晶圆面，所述晶圆面表面设置有模块化MLC结构，所述模块化MLC结构由多个独立的小块MLC均匀分布于300mm晶圆面尺寸的圆盘范围内，多个所述小块MLC通过与导电路径固定连接集成于PCB，多个探针。通过将传统整块陶瓷MLC替换为多个独立的小块MLC，这使探针卡能灵活适配不同尺寸和数量的DUTs，应对多样测试需求，同时，小块MLC制造简单，材料损耗减少，制造成本降低，减少原材料浪费，显著降低制造成本，单个MLC损坏时可独立更换，避免整卡报废，解决传统设计在灵活性和成本控制上的局限。
本发明授权一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡在权利要求书中公布了：1.一种用于机台状态检验的多区域可替换组合探针卡，其特征在于，包括： 圆盘（5），所述圆盘（5）表面设置有晶圆面（6），所述晶圆面（6）表面设置有模块化MLC结构，所述模块化MLC结构由多个独立的小块MLC（1）均匀分布于300mm晶圆面（6）尺寸的圆盘（5）范围内，多个所述小块MLC（1）通过与导电路径固定连接集成于PCB（2）； 多个探针（3），多个所述探针（3）均位于小块MLC（1）表面，所述探针（3）针尖设置有反光面（31），所述反光面（31）用于光学平坦度测量，同时通过物理接触铝晶圆实现电性测试，所述探针（3）通过导电路径连接至PCB的测试机接口POGO点； 温度探头（4），所述温度探头（4）分布于探针卡边缘区域，测量精度为±0.1℃，用于实时监测测试环境温度； 信号传输模块，所述信号传输模块用于信号传输，信号传输阻抗≤0.1Ω。
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