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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种基于差分补偿的差动共焦测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252578B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510747817.3，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权一种基于差分补偿的差动共焦测量方法是由王之一;王建立;冯晓鹏;刘昌华;贾建禄;姚凯男设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于差分补偿的差动共焦测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于差分补偿的差动共焦测量方法，属于光学检测技术领域。基于差分补偿的差动共焦测量方法通过构建第一四象限探测器、第二四象限探测器的电压差值和倾斜角度之间的函数模型，使用两个四象限探测器和差动计算方法，获取被测物的测量点的倾斜角度信息。提升现有的差动共焦显微镜的误差补偿能力，消除光学系统中的偏差，保证被测物角度测量结果的高精度与稳定性。减少光学元件和探测器的使用，降低了测量方法的复杂性，减小了误差源，提高了测量方法的稳定性与精度。

本发明授权一种基于差分补偿的差动共焦测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于差分补偿的差动共焦测量方法，其特征在于，基于四象限探测器进行测量，所述差动共焦测量方法包括如下步骤： S1、将标准件置于差动共焦测量系统，将所述标准件按照预设的倾斜量转动，分别采集不同倾斜角度时第一四象限探测器和第二四象限探测器的各个象限的电压值；所述第一四象限探测器设置在焦前光路，所述第二四象限探测器设置在焦后光路； S2、根据所述各个象限的电压值和不同倾斜角度，构建函数模型； S3、计算所述函数模型中：差分补偿系数和差分针孔误差项； S4、将被测物置于差动共焦测量系统，采集所述被测物的测量点在第一四象限探测器和第二四象限探测器的各个象限的电压值，根据所述函数模型，获取所述被测物的测量点的倾斜角度信息； 步骤S4中获取所述测量点倾斜角度信息的计算公式为： 其中，k1、k2、k3、k4分别表示所述差分补偿系数；θx、θy分别表示所述被测物的测量点在X轴方向和Y轴方向上的倾斜角度；分别表示所述被测物的测量点在所述第一四象限探测器上X轴方向和Y轴方向上的电压差值；分别表示所述被测物的测量点在所述第二四象限探测器上X轴方向和Y轴方向上的电压差值。

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