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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种研磨方法、装置和控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120206392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510717305.2，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种研磨方法、装置和控制系统是由邱茹蒙设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种研磨方法、装置和控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种研磨方法、装置和控制系统，该方法包括：获取目标研磨头已研磨的多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间；对多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间进行拟合；获取准备使用目标研磨头进行研磨的待研磨晶圆的预设研磨量和预设研磨速率R1；将预设研磨量输入拟合公式中，得到预测研磨时间；将预设研磨量除以预测研磨时间，得到预测研磨速率R2；计算待研磨晶圆对应的实际研磨速率R3；计算待研磨晶圆对应的实际研磨时间T；使用目标研磨头、以预设研磨速率R1和实际研磨时间T对待研磨晶圆进行研磨。本方案可以实时改善目标研磨头对待研磨晶圆的研磨效果。

本发明授权一种研磨方法、装置和控制系统在权利要求书中公布了：1.一种研磨方法，其特征在于，所述方法应用于包含2个以上研磨头的研磨机台，分别将每个研磨头作为目标研磨头，然后对每个目标研磨头分别执行所述方法的各步骤；所述方法包括以下步骤： S1、确定准备使用目标研磨头对待研磨晶圆进行研磨的起始时刻；获取所述起始时刻之前已被所述目标研磨头研磨合格的多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间； S2、按照所述多个晶圆被研磨的时间顺序，对所述多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间进行拟合，得到拟合公式； S3、获取准备使用所述目标研磨头进行研磨的待研磨晶圆的预设研磨量和预设研磨速率R1； S4、将所述预设研磨量输入所述拟合公式中，得到预测研磨时间； S5、将所述预设研磨量除以所述预测研磨时间，得到预测研磨速率R2； S6、计算所述待研磨晶圆对应的实际研磨速率R3，其中，R3=R1+W*R1-R2，W表示预设的权重； S7、计算所述待研磨晶圆对应的实际研磨时间T，其中，T=THKtargetR3，THKtarget表示所述预设研磨量； S8、使用所述目标研磨头、以所述预设研磨速率R1和所述实际研磨时间T对所述待研磨晶圆进行研磨。

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