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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120217803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510699312.4，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法是由许永建;王志豪;谢亚红;梁立振;胡纯栋设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法，涉及电感耦合等离子体源技术领域，包括：根据电感耦合等离子体源设计目标，建立Plackett‑Burman正交矩阵。通过有限元分析模型计算响应值系数矩阵，建立一阶线性回归方程，筛选显著变量并根据主效应变量的系数计算并建立Box‑Behnken设计矩阵。通过有限元分析模型计算响应值系数矩阵，建立高阶多项式归方程。通过方差分析和三维响应面，确定各显著变量的重要程度和交互作用。通过求解拟合方程最大值，进而得到电感耦合等离子体源的最佳方案。本发明方案为传统设计方法无法解决的多目标、多变量等离子体源设计的难题提供了解决方案。

本发明授权一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法在权利要求书中公布了：1.一种电感耦合等离子体源的关键参数设计与优化方法，其特征在于，包括： S101，获取设计目标参数，并构建响应值矩阵和潜在变量矩阵，包括：获取电感耦合等离子体源的设计目标参数，根据设计目标参数构建响应值矩阵；根据设计目标参数，确定电感耦合等离子体源的潜在变量，得到潜在变量矩阵； S102，根据潜在变量构建并化简Plackett-Burman正交矩阵，化简矩阵与潜在变量矩阵相乘得到潜在变量设计方案； S103，基于有限元分析模型中的玻尔兹曼模块和流体模块迭代计算，并按步骤S102的潜在变量设计方案依次求解响应值系数矩阵； S104，对S103得到的响应值系数矩阵和化简矩阵，拟合响应值和潜在变量的一阶线性回归方程，并求解其拟合优度； S105，对S104拟合结果采用方差分析识别显著变量，根据主效应变量的系数计算Box-Behnken设计矩阵，设计矩阵与显著变量矩阵相乘得到显著变量设计方案； S106，基于有限元分析模型中的流体模型和玻尔兹曼模型迭代计算，按S105的显著变量设计方案依次求解响应值系数矩阵； S107，根据S106的响应值系数矩阵和设计矩阵拟合响应值和显著变量的高阶多项式回归方程，并求解其拟合优度； S108，对S107中建立的高阶多项式回归方程采用方差分析，确定交互项对响应值的作用，求解响应值最大值点，该点即为最佳设计方案。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。